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AWM2000 -
AWM2000
- 型号AWM2100 AWM2150 AWM2200 AWM2300
- 品牌霍尼韦尔
- 价格
AWM2000系列为无源器件，包含两个惠斯顿电桥：一个为闭环的发热 控制电路，一个为双传感电路，图 1，2 为用户需外加电路，图 3 为推 荐的输出信号放大电路。
特点： * 双向气流传感 * 实际气体质量流量传感 * 流速 0~30sccm 到 0~1000sccm * 需另加发热器控制及传感桥路供电电路
图1电路为发热控制电路，通过保持恒定的发热温度与变化的外界温度 之差减小由于外部温度变化引起的误差，外界温度由芯片上相似的负温 度系数电阻测得，这种模式还能减少由于气体浓度及成分变化产生的影 响，这种变化可以改变热传导及传感元件的工作特性。 图 2 为传感桥供电电路,传统的惠斯通电路，传感器内含的传感元件组 成了桥路的两个动态臂,输出电压随电源变化，当气流方向变化时，输 出的电压极性也发生变化。 图3是一个实用的传感器接口放大电路，提高增益及调节输出电压的偏 置.
注： 1、输出电压随电源电压而比率变化，额定值以 LM124 运放为准 2、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化而引起 气流器件的温漂主要是薄膜 TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温漂引起 3、MICROSWITCH 可提供适合测量氢气（H2）和氦气（He）的特殊符号 4、为防止损坏，最大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0Sec.
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